电子工业
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洁净室洁净度：
风量、风速/换气次数
高效空效过滤器检漏（光度计法、粒子计数器法）
静压差
单向流洁净室截面风速不均匀度
悬浮粒子
温湿度
噪声
照度
自净时间
气流流形
沉降菌
浮浮菌
洁净服：产尘试/洁净更换验证
洁净室洁净度：
风量、风速/换气次数
高效空效过滤器检漏（光度计法、粒子计数器法）
静压差
单向流洁净室截面风速不均匀度
悬浮粒子
温湿度
噪声
照度
自净时间
气流流形
沉降菌
浮浮菌
洁净服：产尘试/洁净更换验证
